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                          微系統實驗室
                          發布人:施安峰  發布時間:2019-11-27   瀏覽次數:122

                                工程與材料科學實驗中心微系統實驗室自建成開放至今已歷16年,設備總值1570萬ag平台网上真人龙虎ag平台网上真人龙虎,其中50萬元以上13臺套,2019年對外服務達13000小時。本實驗室堅持兩個主要的服務方向,一是提供微結構加工平臺,包括常用的光刻設備、薄膜制備設備、硅基和非硅基的加工設備、飛秒激光加工設備等;另一方面是性能測試平臺ag平台网上真人龙虎,包括微納形貌特征檢測設備、微納米尺度振動和力學特性檢測設備ag平台网上真人龙虎、微流控以及與生命科學交叉相關的觀察、檢測設備等等ag平台网上真人龙虎。

                          實驗室現擁有面積約300平方米的潔凈室(包括千級光刻和化學區ag平台网上真人龙虎,萬級的微納加工、激光加工區和十萬級的測量檢測區)ag平台网上真人龙虎。側重于微米尺度結構研究的支撐和服務,包括紫外光刻硅工藝的微米器件及系統ag平台网上真人龙虎、生物微機電系統、基于壓電陶瓷的微系統設計ag平台网上真人龙虎、飛秒激光微納米制造技術、掃描探針顯微鏡測量及其標準化ag平台网上真人龙虎。

                          實驗室聯系方式:朱老師  0551-63601478/63607405-1


                                                 工藝能力                                             運行模式

                              



                          實驗室儀器設備一覽


                          活細胞成像系統

                          型號: Leica-Dmi8/DFC9000GT/ING2-WSKM-SET/LAS

                          廠商:德國 Leica公司

                          紫外皮秒激光切割機

                          型號:LSP30

                          廠商:武漢華工激光工程有限責任公司

                          高分辨率雙面對準曝光機

                          型號:ABM/6/350/NUV/DCCD/BSIR/M

                          廠商:美國ABM公司

                          等離子體增強型化學氣相沉積

                          型號:PD-220

                          廠商:日本Samco公司

                          磁控濺射臺

                          型號:SP-SC4-A00

                          廠商:矽碁科技股份有限公司(臺灣


                          多功能磁增強反應離子刻蝕機

                          型號:ME-3A

                          廠商:中國科學院微電子

                          氧化/擴散爐

                          型號:M5111-2/VM

                          廠商:中國電子科技集團公司

                          光學外差微振動位移測量儀

                          型號:MLD-221D

                          廠商:日本NEOARK公司

                          儀器名稱:離子束刻蝕機

                          型號:M431-6/UM

                          廠商:中國電子科技集團公司

                          臺階儀

                          型號:XP-1

                          廠商:美國Ambios Technology, Inc

                          原子力顯微鏡

                          型號:MFP-3D-Origin.

                          廠商:英國Oxford儀器公司

                          光學輪廓儀:

                          型號:Contour GT-K

                          廠商:德國Bruker公司

                          掃描電子顯微鏡

                          型號:EVO18.

                          廠商:德國 Zeiss儀器公司

                          CO2臨界點干燥儀

                          廠商:奧地利Leica科技公司

                          型號:EM CPD300

                          飛秒激光加工系統

                          型號:Chameleon Vision-S /Legend Elite F HE-1K.

                          廠商:美國Coherent公司



                           
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