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                          中心實驗室
                           
                          微系統實驗室
                          光學輪廓儀
                          臺階儀
                          紫外皮秒激光切割機
                          活細胞成像系統
                          原子力顯微鏡
                          氧化/擴散爐
                          離子束刻蝕機
                          光學外差微振動位移測量儀
                          高分辨率雙面對準曝光機
                          飛秒激光加工系統
                          多功能磁增強反應離子刻蝕機
                          等離子體增強型化學氣相沉積
                          磁控濺射臺
                          CO2臨界點干燥儀
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